张晓征

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微型机电系统与微细加工技术
《北京机电通讯》2000年第27期35-38,共4页张晓征 迟向磊 
本文介绍了一个新兴的机械电子研究和应用领域-微型机电系统的产生、发展和应用前景,这种机电系统有着传统机电系统不能比拟的特点和优势,例如经济、制造快速等。本文列举了几个常见的微型机电系统和它们的应用举例。与微型机电系统...
关键词:微型机电系统 微机械 微细加工 
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