MEMS的概念及其国内外的研究状况  

The conception of MEMS and current development at home and abroad

作　　者：刘文耀[1] 杜君文[1] 应济[2] 

机构地区：[1]宁波职业技术学院,浙江宁波315800 [2]浙江大学,浙江杭州310027

出　　处：《机械工程师》2001年第2期8-10,共3页Mechanical Engineer

摘　　要：介绍了ＭＥＭＳ的原理及有关技术，论述了该技术在国内外的研究状况及发展前景。The principle and relevant technology of GEMS are introduced. The current development of this technology at home and abroad and the prospect are also involved.

关 键 词：MEMS 微型机器人 压电微电机 微电子机械系统 

分 类 号：TH－39[机械工程] TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]