采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计  

Design of a RF Bulk Acoustic Wave Filter Using PZT Thin Film

作　　者：刘燕翔[1] 任天令[1] 刘理天[1] 

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所,北京100084

出　　处：《压电与声光》2001年第1期1-4,共4页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：国家"九七三"及清华大学"九八五"重点基金资助项目

摘　　要：在分析体声波滤波器的原理、结构及相关参数的基础上 ,结合锆钛酸铅薄膜的材料特性 ,提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响 ,模拟了不同连接方法下滤波器的频率特性 ,探讨了薄膜材料的制备、退火。RF bulk acoustic wave resonators and filters, using PZT thin films and MEMS technology, are designed in this paper.The effects of the mass load of substrate and electrodes are estimated.The frequency characteristics of varied filters are simulated.The PZT preparation,annealing and etching processes are also discussed.

关 键 词：射频滤波器 PZT薄膜 体声波 设计 

分 类 号：TN713.02[电子电信—电路与系统]