刘燕翔

作品数：5被引量：25H指数：3
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：射频滤波器锆钛酸铅体声波射频PZT薄膜更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《压电与声光》《固体电子学研究与进展》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀被引量：1
《Journal of Semiconductors》2002年第4期362-366,共5页陈兢 刘理天 李志坚 谭智敏 蒋前哨 方华军 徐扬 刘燕翔 
对使用超声搅拌和不加搅拌时 (10 0 )单晶硅的腐蚀特性进行了研究和对比 .使用超声搅拌 ,可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面 ,整个硅片腐蚀深度的误差不超过 1μm.实验结果表明 ,该方法可以有效地实现精密
关键词：各向异性腐蚀 超声搅拌 KOH 硅 表面粗糙度 均匀性 
PZT材料在射频滤波器中的应用被引量：6
《固体电子学研究与进展》2002年第2期149-152,184,共5页刘燕翔 任天令 刘理天 
国家"973"项目 (G19990 3 3 10 5 );教育部"985"项目资助
锆钛酸铅 (PZT)材料有着优良的压电性能 ,其薄膜具有高机电耦合系数、高品质因数的特点 ,适合于制作低插损、大带宽的射频 (RF)滤波器。文中介绍了 RF体声波滤波器的原理、结构和 PZT的材料特性 ,探讨了PZT薄膜的制备、退火、刻蚀工艺...
关键词：PZT材料 射频滤波器 锆钛酸铅 谐振器 微电子机械系统 压电 薄膜材料 
基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究被引量：3
《压电与声光》2002年第1期1-3,共3页丛鹏 刘燕翔 任天令 刘理天 
"九七三"重大基金资助项目 (G19990 3 3 10 5 );国家自然科学基金资助项目 (6980 60 0 7)
计算并讨论了由电极 -压电薄膜 -电极的三明治结构组成的体声波谐振器在有衬底情况下的阻抗 ,特别说明了厚的支撑膜对滤波器性能的严重影响。同时比较了在制作体声波滤波器时硅的体加工工艺和表面加工工艺的优劣 。
关键词：滤波器 揩振器 微电子机械系统 体声波 射频 硅 表面加工 
硅基PZT薄膜的制备与刻蚀工艺研究被引量：6
《压电与声光》2001年第4期290-292,共3页赵宏锦 刘建设 任天令 刘燕翔 刘理天 李志坚 
国家自然科学基金资助项目 ( 6980 60 0 7) ;国家"九七三"计划资助项目 ( G19990 3310 5 )
采用溶胶 -凝胶 ( Sol- Gel)法制备了 PZT薄膜 ,在 60 0°C的退火温度下即获得了晶化完善的钙钛矿铁电相结构。采用典型的半导体光刻工艺 ,利用 HCl/ HF刻蚀溶液成功地获得刻蚀线条分辨率达微米量级的 PZT薄膜微图形。较好的解决了有关 ...
关键词：锆钛酸铅 刻蚀工艺 PZT薄膜 硅基 
采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计被引量：11
《压电与声光》2001年第1期1-4,共4页刘燕翔 任天令 刘理天 
国家"九七三"及清华大学"九八五"重点基金资助项目
在分析体声波滤波器的原理、结构及相关参数的基础上 ,结合锆钛酸铅薄膜的材料特性 ,提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响 ,模拟了不同连接方法下滤波器的频率特性 ,探讨了薄膜材料的制...
关键词：射频滤波器 PZT薄膜 体声波 设计 
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