丛鹏

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：射频硅表面滤波器微电子机械系统体声波滤波器更多>>
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发文期刊：《压电与声光》更多>>
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基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究被引量：3
《压电与声光》2002年第1期1-3,共3页丛鹏 刘燕翔 任天令 刘理天 
"九七三"重大基金资助项目 (G19990 3 3 10 5 );国家自然科学基金资助项目 (6980 60 0 7)
计算并讨论了由电极 -压电薄膜 -电极的三明治结构组成的体声波谐振器在有衬底情况下的阻抗 ,特别说明了厚的支撑膜对滤波器性能的严重影响。同时比较了在制作体声波滤波器时硅的体加工工艺和表面加工工艺的优劣 。
关键词：滤波器 揩振器 微电子机械系统 体声波 射频 硅 表面加工 
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