SiCOI制造技术  

Progress in the manufacturing technology of silicon on insulator

作　　者：张永华[1] 彭军[1] 黄云霞[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学微电子所,陕西西安710071

出　　处：《半导体情报》2001年第2期26-30,共5页Semiconductor Information

摘　　要：Si COI是一种新型的微电子 SOI材料 ,有望在高温、高频、大功率、抗辐射等电子学领域得到应用发展。本文介绍了近年来几种 SiAs a new SOI material,SiCOI is promising for many applications such as high temperature,high power,high frequency and radiation hardening devices.The recent development for manufacturing technology of SiCOI wafer is presented in this paper.

关 键 词：SICOI 晶片键合技术 智能剥离技术 微电子材料 制造技术 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]