集成埋置式薄膜无源元件MCM的研究现状  

作　　者：何金奇[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子43所

出　　处：《混合微电子技术》1999年第2期19-25,共7页Hybrid Microelectronics Technology

摘　　要：本文介绍了带有埋置式集成薄膜无源元件MCM的研究现状，其中包括MCM集成无源元件的研制方法，材料和工艺的选择和优化及MCM制造工艺等一整套问题，分析了集成薄膜无源元件MCM的优缺点及其发展趋势。

关 键 词：薄膜电阻器 电容器 多芯片组件 无源元件 

分 类 号：TN492[电子电信—微电子学与固体电子学] TM544[电气工程—电器]