Fuzzy-PID复合控制在单晶硅等径生长中的应用  

Application of Fuzzy-PID Control in the Equal-diameter Growth of Monocrystalline Silicon

作　　者：陈琦[1] 王新房[1] 丁积军[1] 

机构地区：[1]西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安710048

出　　处：《测控技术》2001年第3期35-36,共2页Measurement & Control Technology

摘　　要：单晶硅晶体生长炉具有非线性和大纯滞后的特点 ,应用常规PID控制难以实现有效控制。采用Fuzzy- PID复合控制模型 ,在Windows平台下实现了有效的控制 。It is difficult to apply general PID control to the equipment of monocrystalline silicon growth with the nonlinear and great pure hysteresis characteristics.With some real time programming methods,a composite control model combining PID with Fuzzy control is introduced and then received satisfactory control effects in Windows system.

关 键 词：单晶硅晶体 晶体等径生长 模糊控制 复合控制 PID控制 

分 类 号：O782[理学—晶体学] TP273.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]