激光直接成像技术(Ⅳ)——光致抗蚀剂的LDI  

作　　者：林金堵 

出　　处：《印制电路信息》2002年第1期27-31,共5页Printed Circuit Information

摘　　要：3 光致抗蚀剂的LDI 在上期第2.1节中已指出,目前世界上出现的三种类型的LDI技术(参见图5所示)。在本节中仅介绍和描述最早出现并经改进与完善的LDI技术。即LDI的光致抗蚀剂和涂覆于在制板(Panel)上的LDI工艺技术。 3.1

关 键 词：激光直接成像技术 光致抗蚀剂 LDI 电路板 制板 

分 类 号：TN41[电子电信—微电子学与固体电子学]