超微电动机的应用前景及其关键技术  

Application Prospect and Its Key Technology of Ultro-micro Motor

作　　者：张思明[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子第21研究所,上海200233

出　　处：《电子元器件应用》2002年第6期4-6,共3页Electronic Component & Device Applications

摘　　要：概述静电型、电磁型、压电型超微电动机的国内外研究现状及其技术性能,简要介绍三种关键制造技术。指出由超微电动机构成的微电子机械系统(MEMS)的广阔应用前景。This article introduces research survey of three types(electrostatic,electromagnetic,piezoelectric type)ultro-micro motors.Its application and key technology is reviewed.

关 键 词：应用前景 超微电动机 微电子机械系统 微细加工技术 LIGA技术 

分 类 号：TM32[电气工程—电机]