现代军用MEMS惯性传感器技术进展  

Progress on technologies of MEMS inertial sensors for modern military

作　　者：李红光[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033

出　　处：《传感器与微系统》2014年第8期4-7,共4页Transducer and Microsystem Technologies

摘　　要：现代化军事需求小型惯性传感器。技术已成熟的惯性导航和制导系统包括机械陀螺、环形激光陀螺(RLGs)、光纤陀螺(FOGs)以及半球共振陀螺(HRGs)。现在主要用于军事的还有微机电系统(MEMS)陀螺仪和加速计。采用光子晶体光纤(PCFs)的干涉光纤陀螺(IFOGs),即PC—IFOGs。重点阐述MEMS/集成光(IO)波导惯性传感器技术进展。分析小型陀螺仪和加速计技术发展前景及在未来快速反应,精确打击中的作用。Miniature inertial sensors are required in modern military. Mature technologies inertial navigation system includes mechanic gyros, ring laser gyros （ RLGs ）, fiber-optic gyros （ FOGs ） and hemispherical resonant gyros （HRGs） . Now some MEMS gyros and accelerometers have been used for military. Interference fiber-optic gyros（IFOGs） using photonic crystal（PC） （PC-IFOGs） is researched. Technical progress of MEMS/integrated optical （IO） waveguide inertial sensors are described emphatically. Prospect of miniature gyros and accelerometers technologies and functions in precise strike for military in the future are analyzed.

关 键 词：微电子机械系统 惯性传感器 MEMS陀螺 MEMS加速计 MEMS惯性测量仪 小型惯性测量仪 集成光波导陀螺 

分 类 号：TH745[机械工程—光学工程] TN256[机械工程—仪器科学与技术]