Global Foundries全球首发22nm FD-SOI工艺  

出　　处：《中国集成电路》2015年第8期5-5,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：Global Foundries近日宣布推出全新的“22FDX”工艺平台，全球第一家实现22nm FD-SOI，专为超低功耗芯片打造。FD-SOI技术仍然采用平面型晶体管，目前并不为业内看好，因为无论Intel还是三星、台积电，22nm时代起就纷纷转入了立体晶体管，也就是FinFET。

关 键 词：SOI工艺 FINFET SOI技术 Intel 超低功耗 晶体管 平面型 台积电 

分 类 号：TN386[电子电信—物理电子学]