表面封装型MEMS角加速度传感器开发成功  

出　　处：《军民两用技术与产品》2015年第11期38-38,共1页Dual Use Technologies & Products

摘　　要：日本村田制作所株式会社在全球率先开发出了表面封装型的MEMS（微机电系统）角加速度传感器。该产品融合了加速度传感器和角速度传感器设计技术，以及MEMS工艺，尺寸小于LeadType角加速度传感器。

关 键 词：角加速度传感器 MEMS工艺 表面封装 开发 微机电系统 传感器设计 株式会社 角速度 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]