高温薄膜传感器制备与性能研究  

Fabrication and performance study of high temperature thin film sensor

作　　者：王强 张久斌 邵靖 程萍[2] 丁桂甫[2] 段力[2] 

机构地区：[1]上海中航商用航空发动机制造有限责任公司,上海201108 [2]上海交通大学电子信息与电子工程学院微纳电子学系微/纳米国家重点实验室,上海200240

出　　处：《传感器与微系统》2016年第11期33-35,39,共4页Transducer and Microsystem Technologies

摘　　要：利用微机电系统(MEMS)工艺在Al_2O_3基片上制备了Pt—PtRh薄膜热电偶,其工作温度最高可达到1 300℃,最大输出电势达14.8 m V。薄膜热电偶的电势—温度曲线与标准热电偶的曲线基本重合,同时研究了不同粘结层对薄膜微结构、器件寿命的影响。实验结果表明:以Ta为粘结层时薄膜传感器的寿命最长,在1 300℃下可达到14 h。Pt-PtRh thin film thermocouples（ TFTCs） are fabricated on Al_2O_3 substrate by micro-electromechanical system（ MEMS） technology. Its operating temperature is up to 1300℃. The maximum thermoelectric voltage of TFTCs is 14. 8 m V. Its V-T curve is in accordance with that of standard thermocouple approximately.Effect of different adhesion layer materials on micro-structure of TFTCs and lifetime of device are studied. The film sensor with tantalum adhesion layer has the longest lifetime,which is up to 14 h at 1 300 ℃.

关 键 词：微机电系统 高温 薄膜 温度传感器 寿命 

分 类 号：V216.8[航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]