蓝宝石衬底铜抛实验研究  

作　　者：臧跃[1] 茆兰娟 周海[2] 

机构地区：[1]盐城生物工程高等职业技术学校 [2]盐城工学院

出　　处：《内江科技》2017年第7期57-58,共2页

基　　金：国家自然科学基金"氧化镓精密研磨过程中解理断裂机理及其控制方法研究"(51675457);江苏省产学研前瞻性创新资金项目"大尺寸蓝宝石晶体生长;超精密加工关键技术研究"(BY2016065-55)的支持

摘　　要：双面研磨过后的蓝宝石衬底,由于在加工过程中采用粒径较大的研磨颗粒,从而使得加工后的蓝宝石衬底表面质量差。差的蓝宝石表面质量对后续的粗抛加工有很大的影响,其中最为主要的影响就是延长了粗抛的加工时间,增加了加工成本。为了降低这一影响,并提高终极蓝宝石衬底的表面平坦度,引入了铜抛加工工序。在铜抛加工中,提出并实现了一种"两步走"的加工工艺方法,这一加工工艺方法不仅提高了加工效率,还降低了表面粗糙度,并为后续的粗抛提供了一个满意的表面平坦度。

关 键 词：蓝宝石衬底 加工过程 表面质量 实验 铜 双面研磨 工艺方法 表面粗糙度 

分 类 号：TB306[一般工业技术—材料科学与工程]