臧跃

作品数：7被引量：30H指数：3
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供职机构：盐城生物工程高等职业技术学校更多>>
发文主题：蓝宝石衬底双面研磨LED亚表面蓝宝石更多>>
发文领域：机械工程金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《中国机械工程》《现代制造工程》《内江科技》《机械设计与制造》更多>>
所获基金：江苏省高校科研成果产业化推进项目江苏省自然科学基金江苏省“青蓝工程”基金江苏省新型环保重点实验室开放课题基金更多>>
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蓝宝石衬底铜抛实验研究
《内江科技》2017年第7期57-58,共2页臧跃 茆兰娟 周海 
国家自然科学基金"氧化镓精密研磨过程中解理断裂机理及其控制方法研究"(51675457);江苏省产学研前瞻性创新资金项目"大尺寸蓝宝石晶体生长;超精密加工关键技术研究"(BY2016065-55)的支持
双面研磨过后的蓝宝石衬底,由于在加工过程中采用粒径较大的研磨颗粒,从而使得加工后的蓝宝石衬底表面质量差。差的蓝宝石表面质量对后续的粗抛加工有很大的影响,其中最为主要的影响就是延长了粗抛的加工时间,增加了加工成本。为了降低...
关键词：蓝宝石衬底 加工过程 表面质量 实验 铜 双面研磨 工艺方法 表面粗糙度 
蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤分布研究被引量：9
《中国机械工程》2014年第19期2568-2572,共5页刘道标 徐晓明 周海 卓志国 臧跃 高翔 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省"青蓝工程"项目;江苏省新型环保重点实验室开放课题资助项目(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助项目(EML2012013);国际科技合作聘请外国专家重点项目(G2012029)
在前人对硬脆性材料亚表面损伤预测理论研究的基础上,建立了蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度与表面划痕深度之间的理论模型（DNR）。通过对双面研磨后的衬底晶片进行KOH轻度化学腐蚀并结合VK-X100/X200形状测量激光显微系统,得到了...
关键词：蓝宝石衬底 双面研磨 亚表面损伤 划痕 化学腐蚀 
蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤双片式角度抛光法检测被引量：6
《现代制造工程》2014年第5期118-122,36,共6页徐晓明 刘道标 周海 卓志国 臧跃 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省新型环保重点实验室开放课题基金项目(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助项目(EML2012013);国际科技合作聘专重点资助项目
针对传统角度抛光法检测的不足,提出将双片式角度抛光法用于蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度的检测。双片式角度抛光法采用双晶片重合黏结的实验晶片组测量抛光斜面腐蚀裂纹,避免了传统角度抛光法因抛光斜面和原晶片平面分界边缘难...
关键词：角度抛光 蓝宝石 衬底基片 双面研磨 亚表面损伤 裂纹 斜面倾角 
基于双面研磨轨迹优化的LED用SiC衬底加工被引量：2
《制造业自动化》2013年第10期36-37,41,共3页臧跃 周海 徐晓明 卓志国 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省"青蓝工程";江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助(EML2012013);国际科技合作聘专重点项目的资助
本文研究了基于双面研磨轨迹优化的LED用SiC衬底加工方法。为了实现对碳化硅衬底的高效低损伤研磨加工,对碳化硅衬底的行星机构双面研磨轨迹进行了优化。通过选择适当的加工参数,使工件处于摆线中间的环带部分,将有助于对工件进行均匀...
关键词：双面研磨轨迹优化 碳化硅衬底 均匀性 材料去除率 
LED用蓝宝石衬底抛光技术进展被引量：13
《机械设计与制造》2013年第4期249-251,255,共4页卓志国 周海 徐晓明 臧跃 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省"青蓝工程";江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助(EML2012013)
蓝宝石单晶衬底具有优秀的物理化学性质,作为LED的主要衬底材料,其晶片表面质量要求非常高,而加工工艺在很大程度上决定了表面质量。对蓝宝石衬底加工的各种工艺原理作简要介绍,如化学机械抛光、磁流变抛光、浮法抛光等,指出这些加工方...
关键词：蓝宝石衬底 抛光工艺 化学机械抛光 
LED用SiC衬底的超精密研磨技术现状与发展趋势
《机械设计与制造》2013年第4期259-262,共4页臧跃 周海 徐晓明 卓志国 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省"青蓝工程";江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助(EML2012013)
介简单地介绍了发光二极管的发展历程,概述了LED用SiC衬底的超精密研磨技术的最新现状及发展趋势,阐述了研磨技术的原理、应用和优势。同时结合实验室X61 930B2M-6型研磨机,分析了加工工艺参数对研磨表面质量的影响,介绍了当前SiC衬底...
关键词：SIC衬底 研磨 粗糙度 加工效率 
蓝宝石衬底基片工艺质量检测指标及方法的研究进展被引量：3
《现代制造工程》2013年第3期87-90,114,共5页徐晓明 周海 卓志国 臧跃 
江苏省自然科学基金项目(BK2008197);江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048);江苏省"青蓝工程"项目;江苏省新型环保重点实验室开放课题基金项目(AE201120);江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助项目(EML2012013);国际科技合作聘专重点资助项目
根据蓝宝石衬底基片国家标准和国际质量保证体系标准,结合目前蓝宝石衬底基片生产和科研的实际情况,阐述了目前蓝宝石衬底基片生长、掏棒切片、研磨抛光和清洗加工过程中的质量检测指标、检测方法,以及检测设备。指出了蓝宝石衬底基片...
关键词：蓝宝石 衬底 检测指标 检测方法 检测设备 
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