抛光工艺

作品数：370被引量：664H指数：10
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相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：戴一帆解旭辉周林李圣怡曾璇更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院中芯国际集成电路制造(上海)有限公司清华大学更多>>
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基于正交试验的毛刷抛光工艺参数优化
《工具技术》2025年第2期8-13,共6页黄丽容 焦建良 陈瀚 谭卓鹏 郭德均 钟志强 彭勇 
江西省主要学科学术和技术带头人培养项目(20225BCJ23012)。
硬质合金刀片加工铝合金工件时,前刀面易发生黏刀现象并形成积屑瘤,进而影响工件表面加工质量和刀具寿命。为改善该问题,采用毛刷抛光工艺对硬质合金刀片表面进行抛光处理来降低刀片表面粗糙度,提高刀片的表面质量。应用正交试验对硬质...
关键词：毛刷抛光 硬质合金刀片 粗糙度 参数优化 
集成电路钴互连异质结构晶圆化学机械抛光
《清华大学学报(自然科学版)》2025年第2期269-279,共11页张力飞 王同庆 赵德文 路新春 
国家自然科学基金重大项目(51991373)。
化学机械抛光(CMP)技术利用纳米颗粒机械磨削作用与抛光液化学作用的有效结合,为互连结构不间断的层层堆叠提供可能性。随着集成电路制造技术发展到7 nm及以下节点,金属钴因其较低的平均电子自由程和出色的沉积性能,已在后段制程(back-e...
关键词：化学机械抛光 钴互连异质结构 决定性官能团 抛光工艺 
基于灰色关联分析的PMMA工件磁性复合流体抛光工艺参数优化
《金刚石与磨料磨具工程》2025年第1期134-142,共9页王有良 高熙淳 张文娟 
国家自然科学基金(52265056);甘肃省科技基金计划项目(21JR7RA228);兰州理工大学红柳优秀青年人才支持计划(07/062004)。
针对磁性复合流体抛光PMMA工件取得最佳表面质量和最大加工效率时工艺参数不同的问题,基于灰色关联分析的工艺参数优化方法,设计3因素4水平正交试验,分析磁感应强度、羰基铁粉粒径、磨粒粒径对磁性复合流体抛光性能的影响。结果表明:优...
关键词：磁性复合流体 灰色关联分析 工艺参数 表面粗糙度 材料去除率 
连续激光抛光钛合金表面的磨损性能研究
《表面技术》2025年第1期218-227,共10页尹衍恒 赵朕 李庆 刘大猛 李伟青 
目的系统探索连续激光参数对Ti6Al4V抛光表面摩擦磨损性能及抛光精度的影响规律。通过精细调控激光参数,揭示钛合金表面精密抛光与磨损性能提升的关键技术和深层物理机制,满足航空航天、医疗器械等高端应用领域对高性能材料的严格要求...
关键词：激光抛光 钛合金 抛光工艺 表面粗糙度 摩擦因数 耐磨性能 
抛光工艺对陶瓷砖表面性能影响研究
《陶瓷》2024年第12期28-30,123,共4页胡志斌 李惠文 黄玲艳 
笔者运用单因素实验法,研究抛光磨块种类、磨块粒度、磨块排列、抛光参数等对陶瓷砖表面粗糙度、表面形貌、防污性及光泽度的影响规律。其结果表明:16组80目研磨刷和28组180目纤维磨块组合抛光,抛光进给速度为0.19 m/s、往复运动周期T=5...
关键词：磨块粒度 表面粗糙度 表面形貌 光泽度 
不锈钢储罐内壁抛光工艺研究
《造纸装备及材料》2024年第12期42-44,共3页张洪信 
文章概述了不锈钢储罐内壁抛光工艺的内涵,介绍了常见抛光工艺类型,提出了不锈钢储罐内壁抛光工艺创新路径,并进行了效果评估,为不锈钢储罐的设计与制造提供科学依据。
关键词：不锈钢储罐 内壁 抛光工艺 表面粗糙度 
铝镁金属抛光工艺分析
《山西冶金》2024年第11期109-111,共3页高磊 
在现代工业中,金属抛光技术扮演着不可或缺的角色,特别是对于铝镁合金而言。铝镁合金表面的光洁度和外观质量直接影响其功能和美观性,抛光工艺的发展显得尤为重要。基于此,从铝镁金属抛光工艺价值及工艺特点方面出发,深入探讨铝镁金属...
关键词：铝镁金属 抛光工艺 去毛刺 
基于MOGWO的45#钢表面激光抛光工艺参数多目标优化
《表面技术》2024年第10期173-182,共10页梁强 徐永航 李永亮 王敬 杜彦斌 
重庆市自然科学基金面上项目(CSTB2022NSCQ-MSX0473);重庆市高校创新研究群体资助项目(CXQT21024);制造装备机构设计与控制重庆市重点实验室开放课题(KFJJ2019078);重庆工商大学研究生创新型科研资助项目(YJSCXX2023-211-54)。
目的提高45#钢表面激光抛光后的成形质量,提出一种激光抛光工艺参数多目标优化方法。方法构建基于功率、扫描速度、搭接距离的三因素三水平激光抛光试验,并分别应用粗糙度测量仪、显微硬度计和超景深三维显微镜测试抛光层的粗糙度、显...
关键词：激光抛光 二阶响应面模型 MOGWO算法 TOPSIS-CRITIC 多目标优化 
单磨头瓷砖抛光工艺参数对磨削均匀性的影响被引量：2
《陶瓷学报》2024年第4期805-811,共7页韩文 杨振恒 隋旭东 徐磊 曾时金 于盛睿 徐晗 
景德镇市陶瓷产业重大产学研协同攻关和成果转化项目(2023ZDGC003);校企合作项目(KD-XMLX-20231244)。
针对瓷砖抛光生产中出现的过抛、漏抛等严重影响产品质量的问题,基于Preston方程和磨头外轮廓轨迹方程,建立了抛光工艺参数和运动参数与过抛、漏抛相关变量间的数学模型。仿真分析结果表明:过抛区域主要集中在抛光轨迹重叠区域,少部分...
关键词：均匀性 抛光工艺参数 磨削 Preston方程 仿真分析 
抛光工艺对平面与球面铆钉电触头接触电阻的影响
《电工材料》2024年第4期17-20,共4页杨光 黄文明 叶俊凯 刘映飞 颜小芳 柏小平 
研究了在两种抛光工艺下对平面、球面铆钉电触头接触电阻的影响。抛光工艺使用钢针磨和球磨两种工艺。结果表明:在同种铆钉规格下,球磨抛光工艺的粗糙度低于钢针抛光工艺的粗糙度,球磨抛光工艺的接触电阻低于钢针抛光工艺的接触电阻,且...
关键词：电触头 抛光工艺 接触电阻 
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