检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:莫大康
出 处:《集成电路应用》2017年第12期1-1,共1页Application of IC
摘 要:大基金推动下成绩卓然。近期中国半导体业内好事连连。上海中微半导体宣布,它的MOCVD设备Prismo A7机型出货量已突破100台,迈向重要里程碑。三安光电和华灿光电等设备可容纳多达4个反应腔,同时加工136片4英寸外延硅片。由于持续接到新的订单,中微预计2017年底可望出货约120台。据中国半导体设备行业协会报道,2017年上半年中微销售额达3.74亿元,同比2016年的1.49亿元,增长151%。
关 键 词:半导体设备 中芯国际 半导体业 中微 半导体制造业 三安光电 应腔 MOCVD 芯片制造业 工艺制程
分 类 号:TN304.23[电子电信—物理电子学]
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