压电微操作平台的复合控制  

Compound Control for a Piezoelectric Micro-manipulation Stage

作　　者：胡俊峰[1] 杨明立 郑昌虎 

机构地区：[1]江西理工大学机电工程学院赣州,341000

出　　处：《振动．测试与诊断》2018年第3期494-501,共8页Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51565016,51265016);江西省杰出青年人才计划资助项目(20171BCB23063);江西省自然科学基金资助项目(2017BAB206029);江西省教育厅科学技术研究资助项目(GJJ160612)

摘　　要：由于压电驱动器的迟滞现象会使微操作平台出现非线性问题,严重影响了其运动精度和重复定位精度。为了解决该问题,提出一种前馈补偿同反馈调节相结合的复合控制算法。联合离散Preisach模型与支持向量机建立反映平台迟滞现象的理论模型,基于该模型采用迭代搜索方法得到离散Preisach逆模型,根据该逆模型对平台进行前馈补偿。反馈调节采用比例-积分-微分(propotion-integral-derivative,简称PID)控制,以校正前馈补偿无法消除的偏差及由模型不确定性所引起的误差。为了说明所提出的控制方法的可行性,对复合控制、前馈控制和PID进行实验验证比较分析,实验结果表明,所提出的控制方法具有更好的控制精度和响应快速性。

关 键 词：微操作平台 压电驱动器 Preisach逆模型 复合控制 支持向量机 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术] TP274[机械工程—精密仪器及机械]