发明专利申请中的制作铝及铝合金薄膜的技术  

作　　者：何丹丹[1] 

机构地区：[1]国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心,广东广州510530

出　　处：《电子制作》2014年第13期77-78,共2页Practical Electronics

摘　　要：本文分析了近年来已公开的制作铝及铝合金薄膜发明专利申请,对上述专利申请进行了技术分类,介绍了铝及铝合金薄膜的各种应用及优点;其中制作薄膜的技术一直在不断改进;本文最后还对铝及铝合金薄膜制作的发展前景进行了展望。

关 键 词：铝及铝合金 薄膜 薄膜制作技术 原子层沉积 溶胶凝胶 阳极氧化 气相沉积 磁控溅射 

分 类 号：TB383.2-18[一般工业技术—材料科学与工程]