石英微机械惯性传感器的加工技术  

Machining Technique Of Micromachined Quartz-Gyro Sensor

作　　者：谭德生 张巧云[2] 

机构地区：[1]不详 [2]四川压电与声光技术研究所，重庆400060

出　　处：《传感器世界》2002年第10期22-24,共3页Sensor World

摘　　要：本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。In this paper, the basic structure and operation of quartz micromachined gyro are discussed. Mechanism of chemical anisotropic etching for quartz are described. The processing procedure of quartz tuning fork resonator is given. Some experimental results are provided.

关 键 词：惯性传感器 石英 微机械陀螺 各向异性刻蚀 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]