Ti-Ta吸气丝的SIMS分析  

SIMS Analysis of Ti-Ta Gettering Wire

作　　者：邓金祥[1] 夏长虹[1] 陶兆民[1] 余镇江 杨得全[2] 张韶红[2] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所 [2]兰州物理研究所

出　　处：《光电子技术》1991年第1期35-37,共3页Optoelectronic Technology

摘　　要：本文给出两种Ti-Ta吸气丝的SIMS分析,比较其结果,对其吸气性能的差异予以讨论,指出其中一种Ti-Ta吸气丝吸气性能差的原因。The results of SIMS analysis of two kinds of Ti-Ta gettering wi- res are given in the paper.The gettering characteristics are compared and discussed.

关 键 词：Ti-Ta 吸气剂 吸气材料 SIMS分析 

分 类 号：TN104.8[电子电信—物理电子学]