检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:王树一
机构地区:[1]TechSugar
出 处:《中国集成电路》2019年第10期23-26,共4页China lntegrated Circuit
摘 要:2000年前后,胡正明教授公布FinFET(鳍式晶体管)与FD-SOI(Fully Depleted Silicon On Insulator,全耗尽型绝缘体上硅)技术,为25纳米及以下半导体工艺发展指明方向。台积电和英特尔都选择了FinFET工艺,这使其成为逻辑工艺的主流方向.
关 键 词:出货量 FINFET 半导体工艺 山丘 绝缘体上硅 晶体管 耗尽型 英特尔
分 类 号:TN386[电子电信—物理电子学]
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