一亿颗出货量之后,FD-SOI还要翻越哪些山丘?  

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作  者:王树一 

机构地区:[1]TechSugar

出  处:《中国集成电路》2019年第10期23-26,共4页China lntegrated Circuit

摘  要:2000年前后,胡正明教授公布FinFET(鳍式晶体管)与FD-SOI(Fully Depleted Silicon On Insulator,全耗尽型绝缘体上硅)技术,为25纳米及以下半导体工艺发展指明方向。台积电和英特尔都选择了FinFET工艺,这使其成为逻辑工艺的主流方向.

关 键 词:出货量 FINFET 半导体工艺 山丘 绝缘体上硅 晶体管 耗尽型 英特尔 

分 类 号:TN386[电子电信—物理电子学]

 

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