2019:中国气体  

2019: China Gas

作　　者：孙福楠[1] 于大秋[1] SUN Funan;YU Daqiu(Zhonghao Guangming Research&Design Institute of Chemical Industry Co.,Ltd.,Dalian 116031,China)

机构地区：[1]中昊光明化工研究设计院有限公司

出　　处：《低温与特气》2019年第6期1-5,共5页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。This paper reviews the current situation of China's gas industry in 2019,makes a detailed introduction to all kinds of major electronic gases in China,and makes a brief forecast on the development of China's gas industry in the future.

关 键 词：电子气体 标准气体 硅烷 烷类气体 砷烷 磷烷 乙硼烷 DCS 高纯氨气 

分 类 号：TQ117[化学工程—无机化工]