乙硼烷

作品数：42被引量：25H指数：2
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计算化学模拟法对制备乙硼烷和甲硅烷反应类型的研究
《文山学院学报》2024年第2期18-23,共6页吕仁庆 王淑涛 王芳 沈国平 
采用计算化学模拟方法,在MP2/6-311+g(d)、HF/6-311+g(d)水平上考察了BCl_(3)、B_(2)H_(6)、LiCl、LiAlH_(4)、AlCl_(3)、SiCl_(4)、SiH_(4)中的Mulliken电荷、自然布局分析电荷(NPA电荷)、Hirshfeld布局电荷、原子偶极矩校正的Hirshfel...
关键词：LiAlH_(4) B_(2)H_(6) SiH_(4) 氧化还原反应 取代反应 
乙硼烷中杂质和气体中微量乙硼烷的气相色谱分析
《中国检验检测》2024年第1期54-57,78,共5页孙赟珑 
作为关键性材料,特种气体乙硼烷的产品纯度对下游产业的正常生产影响巨大。如果晶圆加工环节所使用的气体发生质量问题,将导致整条生产线产品报废,造成巨额损失。目前国内还没有有效的方法可以检测乙硼烷中氩、氧、氮、甲烷、一氧化碳...
关键词：乙硼烷 分子筛色谱柱 阀切换 特种气体 氦离子化 
老反应、新认识:不容小觑的乙硼烷与氨的反应
《大学化学》2021年第8期43-55,共13页李慧珍 李运辉 庄惠芬 陈丽婷 梁瑛敏 易思远 
国家自然科学基金(21601051);广州大学大学生创新实验训练项目(XJ202011078038)。
看似简单实际却很复杂的乙硼烷(B_(2)H_(6),diborane)与氨(NH_(3))的反应已经困扰了硼化学家数十年。该反应在不同实验条件下可生成硼氢化二氢二氨合硼(III)([NH_(3)BH_(2)NH_(3)]BH_(4),diammoniate of diborane,DADB),氨硼烷(NH_(3)·...
关键词：硼氮氢化合物 乙硼烷 硼氢化二氢二氨合硼(III) 氨硼烷 氨基乙硼烷 双氢键 路易斯碱 
高中生证据推理特点
《课程教材教学研究（中教研究）》2020年第7期44-44,共1页杨季冬 
高中生证据推理有以下特点:第一,不同学生面对相同的问题时,其推理的复杂程度有差异。造成这种现象可能与学生对相关知识的掌握程度有关,知识运用越娴熟,那么可利用的武器就越多,对于许多要害也会越敏感。比如认为乙硼烷类似乙烷结构学...
关键词：证据推理 元素周期表 高中生 乙硼烷 知识的掌握 原子结构 氯化铝 化学键 
2019:中国气体被引量：1
《低温与特气》2019年第6期1-5,共5页孙福楠 于大秋 
回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。
关键词：电子气体 标准气体 硅烷 烷类气体 砷烷 磷烷 乙硼烷 DCS 高纯氨气 
氮等离子体处理的抑制用于改善钨填充（英文）
《微纳电子技术》2019年第11期925-932,938,共9页张念华 万先进 李远 许爱春 潘杰 左明光 胡凯 詹侃 宋锐 毛格 彭浩 李晓静 闫薇薇 曾传滨 
National Natural Science Foundation of China(61804168);Youth Innovation Promotion Association of CAS(2015099)
在体钨生长过程中使用原位氮等离子体处理成功实现了无孔洞钨填充。通过氮等离子体处理,钨转化成了氮化钨,其作为抑制剂引起结构顶部钨薄膜的生长延迟。因此,消除了结构顶部薄膜封口,并且实现了无孔洞的钨薄膜生长。使用扫描电子显微镜(...
关键词：钨填充 孔洞 氮等离子体处理 氮化钨薄膜 延迟时间 乙硼烷(B2H6) 
高中生证据推理特点研究——基于学生对乙硼烷结构推理的归纳分析被引量：1
《化学教学》2019年第10期19-23,共5页杨季冬 吴冰寒 童文昭 
福建省教育科学“十三五”规划2018年度立项课题“基于标准的‘宏微辨析’素养测评研究”(立项批准号:FJJKXB18-184)阶段性研究成果
证据推理是一项关键能力,也是化学学科核心素养之一。把握学生证据推理特点有利于培养学生发展该能力。91名学生对乙硼烷结构进行推测,对结果进行归纳总结发现高中生证据推理的特点有:(1)不同学生面对相同的问题时,其推理的复杂程度有...
关键词：核心素养 证据推理 推理特点 
发展中的中国特种气体被引量：2
《低温与特气》2018年第6期1-5,共5页孙福楠 于大秋 
介绍了2018年中国特气的发展,展望了中国特种气体的未来发展,强调我国特种气体走自主发展、正规化、规模化、国际化的重要性。
关键词：电子特气 电子硅烷 电子乙硼烷 电子磷烷 标准气体 
乙硼烷制备和纯化方法的探讨被引量：1
《低温与特气》2018年第4期22-26,共5页禹金龙 傅铸红 陈艳珊 
乙硼烷作为最简单的硼氢化合物、典型的"缺电子"化合物,主要用作P-型半导体芯片生产中的掺杂剂。简述乙硼烷的理化性质,并介绍乙硼烷产品的制备方法和纯化方法。
关键词：乙硼烷 制备 纯化 
用傅立叶变换红外光谱法检测气体中微量乙硼烷被引量：2
《低温与特气》2017年第1期37-41,共5页李福芬 李扬 孙宝宇 高天东 曲庆 
利用配备长光程气体池的傅立叶变换红外光谱仪对气体中微量乙硼烷进行了定量分析。在恒定实验条件下进样,分辨率为4 cm^(-1),扫描8次,可以得到理想的分析结果。定量分析结果表明,该方法重复性良好(相对标准偏差<0.5%),在0~100×10^(-6)...
关键词：傅立叶变换红外光谱仪 长光程气体池 微量 乙硼烷 定量 不确定度 
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