碳化硅智能制造系统综述  

Overview of Silicon Carbide Intelligent Manufacturing System

作　　者：于凯[1] 王利杰[1] 刘金鑫[1] YU Kai;WANG Lijie;LIU Jinxin

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十六研究所研究与发展部,天津300220

出　　处：《自动化应用》2021年第3期13-16,19,共5页Automation Application

摘　　要：国内高纯半绝缘碳化硅单晶未能实现工程化的原因,在于生产效率和产品的一致性较差,因此提出了建立碳化硅智能制造平台这一解决途径,以提高晶体生产效率和产品的一致性为目标,以数据监控等为基础,建立基于模型的仿真方法,采用生长过程仿真分析、制造过程监控和工艺参数自适应控制,来提高碳化硅单晶生长过程的智能化控制水平,进而推进高纯半绝缘碳化硅单晶片的产业化进程。

关 键 词：碳化硅 智能制造 数据监控 模拟仿真 自适应控制 

分 类 号：TP23[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]