基于专利视角的MEMS传感器产业分析  

作　　者：孔艳艳[1] 牛江蓉[1] 胡端阳[1] 

机构地区：[1]机械工业信息研究院

出　　处：《软件和集成电路》2023年第3期70-75,共6页Software and Integrated Circuit

摘　　要：经过多年发展,我国已经形成从设计研发、中间性试验、生产制造、封装测试到系统集成的完整MEMS传感器产业链条,各环节都有骨干企业布局.同时,一些高校科研院所已建立传感器中间性试验服务平台,助力我国MEMS传感器产业创新发展.但我国仍存在核心技术缺失、创新能力不强、产业化应用不足等问题,亟须突破.

关 键 词：MEMS传感器 服务平台 系统集成 骨干企业 产业化应用 封装测试 中间性 创新能力 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]