亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用  

作　　者：吴永前[1] 刘锋伟[1] 陈强[1] 陈小君[1] 徐燕[1] 赵文川[1] 闫锋涛[1] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所,四川1成都610209

出　　处：《中国科技成果》2024年第9期2-3,共2页China Science and Technology Achievements

摘　　要：超高精度干涉检测技术是大规模集成电路制造、同步辐射、引力波探测等领域的核心技术之一,也是天文、成像等诸多领域的关键技术之一。鉴于该项技术的重要性,国外对亚纳米或更高精度干涉仪采取了严格的限制措施,我国只能引进其二流的设备。只有立足于自主创新,突破超高精度检测的核心技术,才能满足我国对高精度检测的需求。

关 键 词：高精度检测 干涉检测 亚纳米 干涉测量技术 超高精度 大规模集成电路 同步辐射 干涉仪 

分 类 号：O43[机械工程—光学工程] TB383[理学—光学]