刘锋伟

作品数：5被引量：25H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：光学检测回程误差平面镜干涉仪面形更多>>
发文领域：机械工程理学文化科学一般工业技术更多>>
发文期刊：《光学学报》《中国科技成果》《光学与光电技术》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用
《中国科技成果》2024年第9期2-3,共2页吴永前 刘锋伟 陈强 陈小君 徐燕 赵文川 闫锋涛 
超高精度干涉检测技术是大规模集成电路制造、同步辐射、引力波探测等领域的核心技术之一,也是天文、成像等诸多领域的关键技术之一。鉴于该项技术的重要性,国外对亚纳米或更高精度干涉仪采取了严格的限制措施,我国只能引进其二流的设...
关键词：高精度检测 干涉检测 亚纳米 干涉测量技术 超高精度 大规模集成电路 同步辐射 干涉仪 
X射线柱面反射镜的非零位干涉测量被引量：3
《光学学报》2022年第4期229-236,共8页邓婷 刘锋伟 覃蝶 徐燕 吴永前 陈强 
国家自然科学基金(61905255)。
针对拼接干涉测量技术除了引入拼接误差,还将引入机械运动误差的问题,为此提出一种X射线反射镜的非零位干涉测量方法,无需拼接便可实现零回程误差的高精度干涉测量。利用一块高精度平面镜来标定干涉系统在全视场范围内的回程误差。通过...
关键词：X射线光学 X射线镜 面形检测 回程误差 ZERNIKE多项式 
基于光学包裹相位的类别不平衡研究
《光学与光电技术》2021年第4期37-44,共8页刘源超 吴永前 刘锋伟 
国家自然科学基金资助项目(61905255)。
针对路径相关的相位解包裹算法在较强噪声下具有敏感性,不能进行精确的相位解包裹,近几年国内外相继提出了基于深度学习的方法来提高解包裹的抗噪性能。光学相位常用Zernike多项式进行表征,然而由仿真得到的训练数据却存在类别不平衡问...
关键词：相位解包裹 深度学习 光学相位 类别不平衡 损失函数 
大口径光学非球面镜先进制造技术概述被引量：21
《光电工程》2020年第10期63-85,共23页刘锋伟 吴永前 陈强 刘海涛 闫锋涛 张仕杨 万勇建 伍凡 
国家自然科学基金资助项目(61905255)。
在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在...
关键词：大口径非球面 光学加工 光学测试 
随机相移误差的Lissajous标定与校正被引量：1
《光电工程》2015年第2期89-94,共6页刘锋伟 吴永前 伍凡 
国家自然科学基金资助项目(61108045)
将Lissajous标定技术应用到相移干涉测量的相移算法(PSA)中,提出一种基于Lissajous标定技术的随机相移误差校正算法。该算法不需要计算各帧干涉图之间的实际相移量,直接用Lissajous标定和椭圆拟合的方法计算相移算法的相位提取误差(包...
关键词：干涉测量 Lissajous 标定 随机相移误差 
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