闫锋涛

作品数：4被引量：29H指数：3
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：干涉仪球面镜数据处理软件大口径相移更多>>
发文领域：机械工程理学化学工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《中国科技成果》《强激光与粒子束》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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亚纳米超高精度光学面形干涉测量技术及应用
《中国科技成果》2024年第9期2-3,共2页吴永前 刘锋伟 陈强 陈小君 徐燕 赵文川 闫锋涛 
超高精度干涉检测技术是大规模集成电路制造、同步辐射、引力波探测等领域的核心技术之一,也是天文、成像等诸多领域的关键技术之一。鉴于该项技术的重要性,国外对亚纳米或更高精度干涉仪采取了严格的限制措施,我国只能引进其二流的设...
关键词：高精度检测 干涉检测 亚纳米 干涉测量技术 超高精度 大规模集成电路 同步辐射 干涉仪 
大口径光学非球面镜先进制造技术概述被引量：21
《光电工程》2020年第10期63-85,共23页刘锋伟 吴永前 陈强 刘海涛 闫锋涛 张仕杨 万勇建 伍凡 
国家自然科学基金资助项目(61905255)。
在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在...
关键词：大口径非球面 光学加工 光学测试 
基于子孔径拼接的Hindle球检测法被引量：4
《强激光与粒子束》2012年第11期2555-2559,共5页闫锋涛 范斌 侯溪 伍凡 
国家自然科学基金项目(60908042)
为了能够准确获取基于子孔径拼接的Hindle球检测大口径双曲面镜的Hindle球参数,研究了Hindle球检测凸双曲面镜的理论模型,并从几何光学入手,讨论了基于子孔径拼接的Hindle球检测法的系统结构,推导了符合子孔径拼接要求的小口径Hindle球...
关键词：光学检测 Hindle法 子孔径拼接 非球面 几何光学 
稀疏子孔径采样检测大口径光学器件被引量：5
《强激光与粒子束》2011年第12期3193-3196,共4页闫锋涛 范斌 侯溪 伍凡 
国家自然科学基金项目(60908042)
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测...
关键词：光学检测 大口径镜面 稀疏子孔径 采样 抛光 
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