微电子技术在MEMS系统中的应用  

Application of Microelectronics Technology in MEMS Systems

作　　者：刘潼 LIU Tong(Rugao No.1 Vocational School,Jiangsu 226500,China)

机构地区：[1]江苏省如皋第一中等专业学校,江苏226500

出　　处：《集成电路应用》2024年第6期296-297,共2页Application of IC

摘　　要：阐述微电子技术具备性能好、精度高、能耗低的特点,探讨其在MEMS中的应用,包括在刻蚀技术、扩散技术、沉淀技术、固相键合技术、MEMS技术、LIGA工艺中的应用。This paper expounds the characteristics of good performance,high accuracy,and low energy consumption of microelectronics technology,and explores its applications in MEMS,including etching technology,diffusion technology,precipitation technology,solid-state bonding technology,MEMS technology,and LIGA process.

关 键 词：微电子技术 MEMS 刻蚀技术 扩散技术 

分 类 号：TN40[电子电信—微电子学与固体电子学]