韩开发出石墨烯合成新方法  

出　　处：《功能材料信息》2015年第4期58-59,共2页Functional Materials Information

摘　　要：最近,韩国研究人员开发出一种与微电子兼容的方法来生长石墨烯,在硅基底上成功合成了晶片级(直径4英寸)的高质量多层石墨烯。该方法基于一种离子注入技术,简单而且可升级。这一成果使石墨烯离商业应用更近一步。相关论文发表在本周的《应用物理快报》上。晶片级的石墨烯可能是微电子线路中一个必不可少的组成部分,但大部分石墨烯制造方法都与硅微电子器件不兼容。

关 键 词：石墨烯 微电子器件 离子注入技术 应用物理 硅基底 微电子设备 制造方法 智贤 半导体掺杂 高丽大学 

分 类 号：TQ127.11[化学工程—无机化工]