硅基底

作品数：91被引量：143H指数：5
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：赵玉龙张政军蒋庄德杨宇魏洋更多>>
相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中国科学院清华大学西安交通大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
干摩擦工况下氮化硅基底制备CrAlN涂层工艺参数优化
《工具技术》2024年第10期20-26,共7页陆鹤 吴玉厚 刘子金 王贺 闫广宇 白旭 郭建成 郑桐翔 
国防科技创新特区计划项目(20-163-00-TS-006-002-11);国家外国专家项目(G2022006012L)。
为了延长氮化硅材料在干摩擦工况下的使用寿命,采用射频磁控溅射技术在氮化硅基底制备CrAlN涂层。利用正交试验法,以CrAlN涂层的干摩擦磨损率为试验指标,探究溅射时间、基底温度、氮气流量和溅射功率对涂层干摩擦工况下摩擦学性能的影...
关键词：氮化硅陶瓷 干摩擦 CrAlN涂层 正交试验 工艺优化 
硅基底铜基材料电极制备及其储能特性研究
《太原理工大学学报》2023年第4期655-662,共8页张文磊 王伟恒 柴宸宇 孙永娇 胡杰 李刚 
国家自然科学基金青年基金资助项目(52005363)。
【目的】以过渡金属氧化物、硫化物、氢氧化物为代表的赝电容材料由于其良好的比电容容值、高功率密度和低成本等优势,被广泛用于宏观常规超级电容器的电极中。然而,当前对于过渡金属电极的研究多采用非常温下合成,辅以导电剂、粘合剂...
关键词：硫化铜 氢氧化铜 硅基底 超级电容器 储能特性 
硅基底增透膜典型自然环境适应性评价研究
《装备环境工程》2022年第12期127-136,共10页杨玉萍 宋建华 刘剑 周晓瑜 刘艳芳 戈帆 赵远荣 王冲文 罗瑞 刘云红 
国防科技工业技术基础科研项目(JSHS2017209B001);云南省科技与人才计划(202005AM070019)。
目的掌握硅基底增透膜在自然环境中的环境适应性。方法采用棚下暴露试验方法,开展硅基底增透膜样品自然环境试验。以0.5、1、1.5、2 a为检测周期,测试样品外观形貌、微观形貌、光谱透射比和表面化学成分等性能,根据性能随试验时间和试...
关键词：硅基底增透膜 典型自然环境试验 外观 光谱透射比 环境适应性 
硅基氧化铁电极的制备及其电化学性能被引量：1
《微纳电子技术》2022年第11期1211-1217,共7页张文磊 马志涛 孙永娇 潘跃德 李刚 胡杰 
国家自然科学基金资助项目(52005363,61904122)。
氧化铁以其优异的理论比电容、大电压窗口和低成本等优势被广泛用于超级电容器的电极材料。然而,当前氧化铁电极的制备主要以不锈钢片或者泡沫镍为基底,很难与传统硅基微加工工艺相兼容,制约了其在微型超级电容器与便携式电子设备中的...
关键词：氧化铁 氧化锌 硅基底 超级电容器 电化学性能 
硅基底上二维硒氧化铋的化学气相沉积法合成及其光电探测应用被引量：1
《物理学报》2022年第16期269-276,共8页傅群东 王小伟 周修贤 朱超 刘政 
新加坡教育部资助的课题。
半导体加工工艺微缩过程中,硅基材料的短沟道效应带来的低能效促使研究人员寻找新型半导体替代材料.二维半导体因其原子级别的厚度以及范德瓦耳斯表面而倍受关注,二维硒氧化铋就是其中迁移率、稳定性以及成本各方面较为均衡的一种.然而...
关键词：二维材料 化学气相沉积 硒氧化铋 光电探测器 
快速响应的微型色谱柱及GC谱线拟合方案被引量：1
《微纳电子技术》2022年第5期432-436,444,共6页王晓雨 王卓然 陈裕欣 王艳芳 侯中宇 
国家自然科学基金资助项目(61204069,61274118,11605112);重点实验室基金资助项目(6142805010802);上海市科委项目(15DZ1160800,17XD1702400)。
采用激光刻蚀技术加工1 mm厚硅双面抛光片实现了蛇形沟道布局的微型色谱柱嵌刻基底,经涂覆固定相、封装后加工制作成新型嵌刻基底的微型色谱柱。该工艺具有加工周期短、成本低的优势。该新型色谱柱在甲醇与二氯甲烷的混合物的分离实验...
关键词：微型色谱柱 硅基底 双面抛光片 气相色谱(GC) 快速响应 
基于纳米金/多孔硅基底的荧光标记法对生物分子的检测
《新疆大学学报（自然科学版）（中英文）》2021年第2期159-162,167,共5页何蕾 
国家自然科学基金(61575168)。
为制做一种低成本、易标记、稳定性好、灵敏度高的生物传感器,本文制备了一种具有较强荧光信号及生物兼容性的多孔硅生物传感器材料.利用纳米金的等离子体效应增强多孔硅中荧光标记物的荧光信号,在纳米金修饰的多孔硅中采用罗丹明6G荧...
关键词：多孔硅 折射率 荧光 生物传感器 
云母纳米片与硅基底之间吸附能的鼓泡测量
《材料科学》2021年第5期511-519,共9页王炜 甄兴 高阳阳 侯丽珍 
云母纳米片(MNL)能显著改善硅(Si)微纳电子器件的电子输运性能,是一种非常有潜力的介电材料。MNL与接触的Si基底之间的界面吸附行为对于所构建的微纳电子器件的性能和力学稳定性极为关键,但是测试手段和技术上的困难导致我们对这类界面...
关键词：云母 纳米片 吸附能 硅 鼓泡法 
AFM变载荷刻划硅基底的分子动力学研究
《光学仪器》2020年第2期57-63,共7页马艳 彭俊 
国家自然科学基金(61565004、91123022、11573020、U1932167)。
基于改进的分子动力学模型,研究了原子力显微镜(AFM)探针在硅表面变载荷刻划的形变特性。利用结构辨认算法显示非晶层的形成,并建立切屑分布的定量评价指标。在此基础上考察刻划速度、针尖半径和探针锥角对刻划效果的影响。结果表明:(1...
关键词：AFM 变载荷 刻划 硅 分子动力学 
硅基底复合自组装膜的制备及其微摩擦磨损性能研究被引量：1
《摩擦学学报》2019年第4期444-451,共8页刘同冈 游坤 赵康康 查塔尔 
江苏高校优势学科建设工程项目和中央高校基本科研业务费项目(2012QNA32)资助~~
采用共吸附法,在硅基底表面制备3-氨基丙基三乙氧基硅烷(APS)和十二烷基三甲氧基硅烷(WD-10)复合自组装膜.通过分子动力学模拟不同温度与混合分子在不同比例下的混合体系界面结合能;依据模拟结果,采用正交试验法设计试验方案制备9种不...
关键词：共吸附法 硅基底 复合自组装膜 微摩擦磨损性能 边界润滑效应 
全选清除导出
共9页<123456789>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部