微机器人关键技术及应用  

作　　者：杨志欣[1] 孙宝元[1] 董维杰[1] 崔玉国[1] 

机构地区：[1]大连理工大学机械工程学院,大连116023

出　　处：《机床与液压》2002年第6期3-6,20,共5页Machine Tool & Hydraulics

基　　金：国家自然科学基金 (697740 2 0 );博士点基金 (980 14 10 6)资助项目

摘　　要：微机器人是微机电系统 (MEMS)的重要分支 ,是微机电系统发展的高级形式。本文阐述了微机器人的关键技术 ;从微机器人关键技术这个新角度介绍了它的应用 ;最后指出了微机器人发展中尚待解决的问题 。

关 键 词：微机器人 微执行器技术 检测技术 能源供给 控制技术 MEMS 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]