光学光刻在军事微电子器件制造中的作用和地位  

作　　者：刘恩荣[1] 

机构地区：[1]机电部第四十五研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1992年第3期8-12,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：光学微细加工技术或称光学技术,是促成集成电路微电子器件的诞生与不断进步的主要微细加工手段。无论是过去还是现在,国外始终都对光学光刻技术设备的发展寄予极大希望与重视,而且在当前通用和军用微电子器件研制、生产中。

关 键 词：微电子技术 光刻 微电子器件 军事 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]