SPOS技术在半导体CMP制程中的应用  

作　　者：顾茂健 王思玲 徐剑青 Greg Pokrajac David Nicoli 

机构地区：[1]上海双健现代药物技术公司 [2]Particle Sizing Systems

出　　处：《集成电路应用》2003年第3期39-42,共4页Application of IC

摘　　要：使用单粒子光学传感技术进行粒径分析,具有高分辨率和精确度的特点,将其与激光衍射等整体检测技术进行比较,应用实例,说明了单粒子光学传感技术对半导体CMP制程的必要性。

关 键 词：SPOS技术 CMP 单粒子光学传感技术 高分辨率 激光衍射 化学机械研磨 粒径 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]