LIGA—EDM复合技术的研究  

作　　者：彭良强[1] 伊福廷[2] 张院春[3] 邹丽芸[4] 李勇[4] 张菊芳[4] 韩勇[4] 

机构地区：[1]北京市机电研究院．北京100027 [2]清华大学精仪系，北京100084 [3]中国科学院高能物理研究所，北京100039 [4]中国科学院高驱散能物理研究所，北京100039

出　　处：《Beijing Synchrotron Radiation Facility》2001年第2期115-116,共2页北京同步辐射装置（英文版）

摘　　要：提出LIGA-EDM复合技术技术，即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术，通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100，使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极，利用该电极进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形小孔阵列．

关 键 词：LIGA—EDM复合技术 微加工 光刻 电铸 塑铸 微机械 微细电火花加工 同步辐射 

分 类 号：TG661[金属学及工艺—金属切削加工及机床] TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]