降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法  

Method for decreasing drive voltage of micromechanical optical switches in torsion beam structure

作　　者：董玮[1] 阮圣平[1] 张歆冬[1] 刘彩霞[1] 张龙[1] 陈维友[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,吉林长春130023

出　　处：《吉林大学学报（信息科学版）》2003年第1期1-3,共3页Journal of Jilin University（Information Science Edition）

基　　金：国家自然科学基金资助项目(69937010);吉林省科学计划发展项目(20010319);863计划资助项目(2002AA312023)

摘　　要：利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低。提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该结构可以通过具有倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀得到。理论分析表明,倾斜下电极结构可以使阈值电压从60V降低到32V。Using mechanical and electric characteristic, the relation between the translocation of cantilever and applied voltage is derived. The applied voltage is in direct proportion to the cube of the torsion beam thickness, and reduces with the shorten of preliminary distance between two adjacent electrodes.The drive structure with the inclined under electrode is proposed and fabricated using a certain inclined (111) silicon. Theoretical analysis indicates that the inclined under electrode can decrease the thresholdvoltage from 60　V to 32　V. 

关 键 词：微机械光开关 驱动电压 静电驱动 扭臂结构 阈值电压 化学腐蚀 光通信 

分 类 号：TM564[电气工程—电器]