微机械光开关

作品数：13被引量：21H指数：3
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相关机构：中国科学院吉林大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所浙江大学更多>>
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微机械光开关的应用及控制被引量：2
《中国仪器仪表》2005年第10期75-78,共4页徐小顺 刘鹏 
本文以MEMS光开关为研究对象,详细介绍了MEMS的工作原理及其特点,并结合开发经验介绍用AT89C8252单片机、PLD和光传感器制成的光开关及与计算机之间的通信。
关键词：MEMS AT89C8252 单片机PLD 光传感器 微机械光开关 MEMS光开关 控制 应用 工作原理 经验介绍 光传感器 单片机 计算机 
集成光学 光电集成与器件
《中国光学》2005年第1期45-46,共2页
TN256 2005010336 基于NPS的集成光学型光隔离器的研究=Design and application of a quick fault detection and optical path automatic switching system[刊,中]／王巍(重庆邮电学院．重庆),兰中文…∥电子测量与仪器学报．-2004,18...
关键词：集成光学 直波导 光隔离器 优化设计 藕合 空间光调制器 功能材料 微机械光开关 渐变折射率 色散特性 
一种超小型1×2微机械光开关被引量：7
《光子学报》2004年第8期949-951,共3页鲍俊峰 邹勇卓 吴兴坤 
设计制作了一种非硅基底的 1× 2微机械光开关 ,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换 ,开关时间 <3ms ,封装尺寸缩小至 2 1mm× 16mm× 12 .6mm ,驱动电压 5VDC ,经 5× 10 6 次开关重复性测试 。
关键词：光纤通讯 光开关 微机械 
其他
《中国光学》2004年第3期79-79,共1页
O462.3 2004032210 光电阴极积分灵敏度测试仪=Measuring system 0f photocathode integral sensitivity[刊,中]/高岳(北京理工大学光电工程系.北京(100081)),王仲春…∥应用光学.—2003,24(3).
关键词：积分灵敏度 测试仪 光电阴极 微机械光开关 光电变色器件 应用光学 自对准 微动作器 大位移 电子器件 
转动竖直镜面的微机械光开关
《科技通讯（上海）》2004年第1期54-58,共5页杨艺榕 刘文平 王跃林 吴亚明 
国家重点基础研究发展规划项目(973)"集成微光机电系统研究"(No.G1999033104)
提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试...
关键词：各向异性腐蚀 深反应离子刻蚀 MEMS 光开关 微机械 静电耦合分析 有限元 
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作被引量：1
《高技术通讯》2003年第7期46-49,共4页董玮 阮圣平 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 
863计划 ( 2 0 0 2AA3 12 0 2 3 );国家自然科学基金 ( 6993 70 10 );吉林省科学计划发展 ( 2 0 0 10 3 19)资助项目
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 ...
关键词：微机械 光开关 微反射镜 硅 静电驱动 扭臂结构 倾斜下电极 自对准V型糟 制作方法 全光网络 
MEMS光开关技术进展
《世界产品与技术》2003年第6期37-39,共3页杨拥军 梁春广 
介绍了MEMS光开关的特点,分析了MEMS光开关的需求背景和应用范围,详细介绍了国内 外MEMS光开关及其相关技术发展状况,指出了我国发展MEMS光开关技术的紧迫性和重要意义。
关键词：MEMS 光开关 密集波分复用 全光通信 微机械光开关 2D-MEMS 3D-MEMS 
光纤通信技术讲座(三):光调制和光开关被引量：3
《光通信技术》2003年第3期49-52,共4页原荣 
首先介绍光调制原理、分类和器件,然后阐述机械式光开关和波导式光开关的工作原理和特性。
关键词：光调制 IM/DD M-Z调制器 SCM 电吸收调制器 微机械光开关 
降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法被引量：4
《吉林大学学报（信息科学版）》2003年第1期1-3,共3页董玮 阮圣平 张歆冬 刘彩霞 张龙 陈维友 
国家自然科学基金资助项目(69937010);吉林省科学计划发展项目(20010319);863计划资助项目(2002AA312023)
利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低。提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该结构可以通过具有倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀得...
关键词：微机械光开关 驱动电压 静电驱动 扭臂结构 阈值电压 化学腐蚀 光通信 
光开关技术介绍被引量：2
《广东通信技术》2002年第3期12-16,共5页孙嵘 李华青 
光交叉连接技术是光交换的核心,是光网络中的关键技术。介绍了几种比较成熟的光交叉连接设备。目前较为成熟的光交叉连接实现技术是微机械光开关技术,以微机械光开关为基础的光交叉连接产品具有明显的价格和性能上的优势。
关键词：光开关技术 微机械光开关 二维光交叉连接 三维光交叉连接 
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