化学气相沉积金刚石膜的光学性质  

Optical properties of HF-CVD diamond films

作　　者：张继华[1,2] 李敬起[3] 孙亦宁 郭晚土 高欣[3] 雷青松[3] 王曦[1] 柳湘怀[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所 [2]中国空间技术研究院兰州物理研究所,甘肃兰州730000 [3]中国空间技术研究院兰州物理研究所

出　　处：《兰州大学学报（自然科学版）》2003年第2期35-38,共4页Journal of Lanzhou University(Natural Sciences)

基　　金：国家 973计划资助项目 ( G2 0 0 0 0 672 0 7-2 )

摘　　要：多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关 .采用一较为完备的金刚石透过率模型 ,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质 .并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对 CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各种成分的吸收系数等光学性质的影响 。Optical properties of polycrystal diamond films depend on deposition conditions.Using a perfect model for transmittance of diamond films,optical properties of a series of diamond films are stud- ied.Effects of substrate pretreatment and methane concentration on optical properties include transmit- tance,surface roughness,non- diamond phase contents and purities′absorptions are determined.Calcula- tion results are well consistent with measured values.

关 键 词：金刚石膜 光学性质 化学气相沉积 透过率 表面粗糙度 吸收系数 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]