厚膜成膜工艺中的膜厚控制  

作　　者：夏少军[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第43研究所

出　　处：《混合微电子技术》2003年第3期40-43,49,共5页Hybrid Microelectronics Technology

摘　　要：厚膜成膜工艺中膜厚对成膜质量有重大的影响，本文探讨了膜厚的意义，影响膜厚的工艺因素及在实际工作中采取的控制措施。

关 键 词：厚膜混合集成电路 成膜工艺 膜厚 丝网 掩模 粘度 

分 类 号：TN452[电子电信—微电子学与固体电子学]