1.3μm Si-Based MOEMS Optical Tunable Filter with a Tuning Range of 90nm  

具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器(英文)

作　　者：左玉华[1] 黄昌俊[1] 成步文[1] 蔡晓[1] 毛容伟[1] 李传波[1] 罗丽萍[1] 高俊华[1] 白云霞[1] 姜磊[1] 马朝华[1] 朱家廉[1] 王良臣[1] 余金中[1] 王启明[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第11期1140-1144,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家重点基础研究发展规划(No.G2 0 0 0 0 3 660 3 );国家自然科学基金(批准号:9610 40 0 3 );国家高技术研究发展计划 (No.2 0 0 2 AA3 12 0 10 )资助项目~~

摘　　要：Optical filters capable of single control parameter based wide tuning are implemented and studied.A prototype surface micromachined 1 3μm Si based MOEMS (micro opto electro mechanical systems) tunable filter exhibits a continuous and large tuning range of 90nm at 50V tuning voltage.The filter can be integrated with Si based photodetector in a low cost component for coarse wavelength division multiplexing systems operating in the 1 3μm band.利用表面微机械技术 ,成功制作了 1.3μm Si基 MOEMS可调谐光滤波器 .原型器件在 5 0 V的调谐电压下 ,调谐范围为 90 nm.该技术可以用于制作 1.3μm Si基可调谐光探测器 .

关 键 词：MOEMS Fabry  Perot tunable filter surface micromaching 

分 类 号：TN713[电子电信—电路与系统]