二维微动工作台微位移机构特性研究  

Research on Micro-displacement Mechanism for 2D Micro-moving Worktable

作　　者：张庆[1] 王华坤[2] 张世琪[2] 

机构地区：[1]南京理工大学机械工程学院 [2]南京理工大学

出　　处：《制造技术与机床》2003年第11期44-46,共3页Manufacturing Technology & Machine Tool

摘　　要：微动工作台是微机电系统及其制造设备中的重要部件。文章结合电致伸缩陶瓷驱动器和杠杆柔性铰链机构 ,论述了二维微动工作台微位移机构的设计 ,建立了微位移机构的机电耦合模型。重点分析了机构的暂态响应和稳态响应及其影响因素 ,为微动工作台系统设计。

关 键 词：微位移机构 暂态响应 稳态响应 微动工作台 微机电系统 

分 类 号：TG502.3[金属学及工艺—金属切削加工及机床]