声表面波压力传感器温度误差及补偿方法研究  

The Study of Temperature Compensation Method in SAW Pressure Sensors

作　　者：何鹏举[1] 陈明[1] 马戎[1] 许海岗[1] 

机构地区：[1]西北工业大学自动化控制系,西安710072

出　　处：《传感技术学报》2003年第4期471-474,456,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：2003年度国家技术创新基金重点支持项目;属于"创新基金项目指南""光机电一体化"部分的"高性能;智能化仪器仪表"中的"新型传感器"

摘　　要：要提高声表面波压力传感器的测量精确度 ,温度补偿是主要难题。尽管目前有许多补偿方法 ,但其效果不佳。采用软件方法进行温度补偿的研究在国内外已成热点 ,但选用神经网络对SAW压力传感器进行温度补偿尚罕见报道。本文以CSF - 10型SAW压力传感器为研究对象 ,通过理论分析和实验 ,得到了SAW压力传感器的温度特性曲线 ,又经现场实际操作 ,BP神经网络对SAW压力传感器温度补偿的效果良好 。It is difficult for temperature compensation of SAW pressure sensors to improve their measure precision, In spite of many temperature compensation method used, Ideal outcome hasn't achieved;. Despite the popular software compensation, the neural network method aren't used in this sensors. In this paper, the BP neural network method is used for compensate the sensor's temperature. The temperature curve of SAW pressure sensor is obtained by the theory analysis and experiments result; The outcome shows that this method is very effectual.

关 键 词：SAW压力传感器 温度误差 补偿方法 BP神经网络 声表面波 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]