一种新型静电驱动的单轴扭转微镜  

A novel electrostatically driven torisional micromirror

作　　者：王丛舜[1] 熊春阳[1] 杨振川[2] 张大成[2] 方竞[1] 

机构地区：[1]北京大学力学与工程科学系,北京100871 [2]北京大学微电子所,北京100871

出　　处：《微纳电子技术》2003年第7期419-421,共3页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家自然科学杰出青年基金(10 12 5 2 11);973"集成微光机电系统研究" (G19990 3 3 10 8)资助项目

摘　　要：基于MEMS技术的微镜在投影显示、光学扫描和光通信等领域中都具有重要的应用价值。本文提出了一种新型的静电驱动的单轴扭转微镜 ,这种MEMS微镜采用标准体硅工艺和绝缘连接工艺制成。由于驱动力作用线和扭转中心之间存在一定的距离 ,使得微镜在梳齿驱动器的横向静电力驱动下 ,发生一定角度的扭转。测试中发现了微镜初步设计中的薄弱环节 。Based on the important applications of micromirror such as projection displays, optical scanner, optical switch and so on, an electrostatically driven micromirror with lateral comb actuators and torsion bars is proposed. The micromirror is fabricated by standard bulk silicon process with the novel isolation technology. The test results show that the micromirror can rotate around the torsional bars and its side instability should be considered for the flexibility of the bar connecting the comb actuators with the micromirror.

关 键 词：静电驱动 单轴扭转微镜 梳齿驱动器 体硅工艺 MEMS技术 

分 类 号：TH741.5[机械工程—光学工程]