微机械制造工艺及其应用  

Micromechanical fabrication processes and applications

作　　者：闫利文[1] 

机构地区：[1]江苏省常熟高等专科学校机电系,215500

出　　处：《现代制造工程》2004年第3期83-85,共3页Modern Manufacturing Engineering

摘　　要：介绍微机械制造工艺的特点及关键技术,阐述微机械制造工艺的新技术及其发展趋势。The text introduces the characterizes and the key technique of the craft in the micromechanical fabrication processes. The new technology and development of the micromechanical fabrication processes are set forth.

关 键 词：MEMS LIGA技术 准LIGA技术 微机械 机械制造 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化]