国家高技术研究发展计划(2005AA1Z2030)

作品数：2被引量：21H指数：2
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相关机构：东北大学中国科学院更多>>
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相关主题：型线设计啮合原理动画编程干泵型线更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>
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一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构被引量：5
《真空科学与技术学报》2007年第5期446-449,共4页刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉 常学森 杨乃恒 
国家十五863项目资助(No.2005AA1Z2030)
IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本...
关键词：罗茨真空泵 型线设计 啮合原理 直排大气 容积利用系数 啮合间隙分布 
圆弧包络线在罗茨转子型线设计中的应用被引量：16
《真空》2007年第1期14-17,共4页刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉 常学森 金璐 
国家十五863专项"罗茨干泵研制(2005AA1Z2030)"资助课题
罗茨转子是罗茨鼓风机、罗茨压缩机、罗茨流量计和罗茨真空泵等设备中最关键的核心部件。罗茨转子的设计成功与否,对这些设备的性能至关重要。本文使用计算机动画编程的方法,对圆弧包络线的生成和性质进行了研究,并将其应用于罗茨转子...
关键词：罗茨转子 型线设计 圆弧包络线 啮合原理 动画编程 
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