常学森

作品数：9被引量：55H指数：4
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供职机构：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心更多>>
发文主题：亲水性干泵干式真空泵高真空磁控溅射更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信理学环境科学与工程更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空与低温》《真空》更多>>
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高真空直排大气干泵的最新进展被引量：17
《真空科学与技术学报》2008年第1期21-25,共5页刘坤 巴德纯 杨乃恒 常学森 李涛 陈瑶 
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大...
关键词：干式真空泵 高真空 直排大气研究进展 
磁控反应溅射氧流量变化对TiO_2薄膜影响的实验研究被引量：3
《真空与低温》2007年第3期163-167,共5页常学森 巴德纯 闻立时 刘坤 
通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上。利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响。实验表明,不同氧流量下制备的TiO2薄...
关键词：纳米二氧化钛 薄膜 光电效应 亲水性 磁控溅射 
磁控溅射状态三个参数理论分析被引量：1
《真空与低温》2007年第3期178-182,共5页常学森 巴德纯 刘坤 李飞 张健 
应用了宏观统计学的理论,以矩形平面磁控溅射靶为例,分析了在不同的磁场、电场和真空度的条件下,保持磁控溅射靶的工作状态,以及实现高质量磁控溅射薄膜的优化条件。通过分析表明,磁控溅射的磁场、电场与真空度存在着密切的关系,在磁控...
关键词：磁控溅射 电场强度 磁场强度 压力 
一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构被引量：5
《真空科学与技术学报》2007年第5期446-449,共4页刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉 常学森 杨乃恒 
国家十五863项目资助(No.2005AA1Z2030)
IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本...
关键词：罗茨真空泵 型线设计 啮合原理 直排大气 容积利用系数 啮合间隙分布 
磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究被引量：7
《真空科学与技术学报》2007年第2期155-158,共4页巴德纯 常学森 闻立时 刘坤 
采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不大。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低水和TiO2薄膜表面...
关键词：TIO2薄膜 亲水特性 反应溅射 真空度 
圆弧包络线在罗茨转子型线设计中的应用被引量：16
《真空》2007年第1期14-17,共4页刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉 常学森 金璐 
国家十五863专项"罗茨干泵研制(2005AA1Z2030)"资助课题
罗茨转子是罗茨鼓风机、罗茨压缩机、罗茨流量计和罗茨真空泵等设备中最关键的核心部件。罗茨转子的设计成功与否,对这些设备的性能至关重要。本文使用计算机动画编程的方法,对圆弧包络线的生成和性质进行了研究,并将其应用于罗茨转子...
关键词：罗茨转子 型线设计 圆弧包络线 啮合原理 动画编程 
磁控反应溅射TiO_2薄膜的实验研究被引量：1
《真空》2006年第4期13-15,共3页常学森 巴德纯 闻立时 刘坤 李飞 张健 
应用直流和中频交流程序自动控制磁控溅射设备,利用金属T i靶、纯F e靶制备出了有一定厚度的质量较好的不同氧流量的F e掺杂T iO2薄膜,T iO2薄膜被沉积在玻璃基底上。薄膜的制备用程序控制。通过在T iO2薄膜中形成一定的结构,并利用各...
关键词：纳米二氧化钛薄膜 氧流量 亲水性 磁控溅射 
二氧化钛功能薄膜理论分析与研究进展被引量：5
《真空》2006年第2期9-12,共4页常学森 巴德纯 闻立时 刘坤 杜昊 
介绍了二氧化钛薄膜在催化和亲水方面的特性,对已有结论作了客观分析比较后,肯定了二氧化钛薄膜催化作用的一个重要的前提条件是电子空穴的保持和有效的传输,到达催化分界面。并且二氧化钛薄膜亲水作用的另一个重要条件是吸附中心必须...
关键词：纳米二氧化钛 薄膜 光催化 亲水性 气敏特性 湿敏特性 
工业污染的防治与环境保护策略被引量：1
《辽宁工学院学报》2003年第3期52-54,共3页王玉静 边华 张富春 常学森 张娜 
从废弃物与污染物的新定义,对工业污染防治进行了一系统规划,旨在使污染企业,尤其是冶金企业能以废弃物形成新的资源,变废弃物为新的产品,从而减少对环境危害。
关键词：工业污染 环境保护 废弃物 污染物 定义 防治规划 能源 
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