干式真空泵

作品数:92被引量:198H指数:9
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相关作者:刘坤王光玉张振厚郭丽娟巴德纯更多>>
相关机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司东北师范大学中国科学院东北大学更多>>
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多级罗茨干式真空泵PMF系列
《上海节能》2024年第11期1884-1885,共2页
1基本信息产品名称:多级罗茨干式真空泵PMF系列规格型号:PMF100产品类型:其它类(真空泵)生产企业:上海汉钟精机股份有限公司2企业介绍上海汉钟精机股份有限公司于1998年在上海成立,中外合资,是国内具有实力的通用设备研发制造商之一。...
关键词:股票代码 深圳证券交易所 螺杆式压缩机 空气压缩机组 通用设备 干式真空泵 冷冻冷藏 市场占有率 
浅析爪型干式真空泵的维护检修
《机械管理开发》2024年第7期283-284,323,共3页白智聪 任富强 
围绕爪型无油干式真空泵进行了研究。介绍了爪型真空泵的结构及工作原理,重点从润滑油系统维护保养、泵腔系统维护保养两方面研究了爪型真空泵的维护及保养,并分析了爪型真空泵的常见故障及异常情况,以及拆卸、回装注意事项。
关键词:爪型干式真空泵 节能环保 极限压力 
干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势
《真空》2024年第3期1-8,共8页张丕显 张以忱 战春鸣 晋伟达 
干式真空泵作为一种机械真空泵,具有抽速范围宽、抽气腔内无油、元件无摩擦、能耗低、耐腐蚀等优点。因其泵腔内无油或其他工作介质,可以提供相对洁净的真空环境,目前已经成为微电子、半导体、精密加工、新能源装备等行业首选的真空获...
关键词:干式真空泵 半导体制备 LCD 光伏发电 锂电池制造 
基于B/S结构的干式真空泵售后服务系统设计
《数字技术与应用》2024年第3期214-216,共3页钟瑞 张莹 金晓慧 张泽 
针对干式真空泵售后服务系统使用不便、功能不完善等问题,本文提出了基于B/S结构的干式真空泵售后服务系统设计方案。分别从服务层、数据层、用户层设计干式真空泵售后服务系统,旨在实现产品从生产出厂至报废的全生命周期履历追溯管理,...
关键词:用户层 干式真空泵 全生命周期 数据层 追溯管理 售后服务 B/S结构 系统设计方案 
干式真空泵振动监测和故障识别系统设计
《一重技术》2023年第6期35-38,共4页邵煜博 韩辉 杨士威 
介绍新开发的基于虚拟仪器(LabVIEW)的干式真空泵振动监测系统。该系统可以实现对泵体振动数据采集、实时监测、存储、频谱分析、故障诊断等功能,故障数据可用于故障图谱分析。实验结果表明,新系统运行稳定,记录准确。
关键词:虚拟仪器 振动数据 采集分析 故障诊断 
系列真空泵
《中国科学院院刊》2023年第S01期89-89,共1页
主要技术与性能指标,系列罗茨干式真空泵,抽速:600-4200 m^(3)/h,极限压力:0.2 Pa系列涡旋干式真空泵,抽速:2-16 L/s,极限压力:<1 Pa主要应用,集成电路、大科学工程等领域,代表性应用成果,系列罗茨干式真空泵:集成电路、太阳能电池、LE...
关键词:干式真空泵 极限压力 大科学工程 集成电路 太阳能电池 抽速 生物医药 罗茨 
以场景为设计输入的螺杆干式真空-压缩系统研究被引量:3
《真空》2023年第3期46-50,共5页任昌青 徐法俭 黄志婷 袁铮 张泽升 
山东省技术创新项目(202250003012)。
螺杆干式真空泵在一个泵腔内实现多级压缩,并且不使用液体密封,是“双碳”目标下气体输运的优秀装备。本文分析了螺杆干式真空泵设计原理,研究了使用场景下螺杆真空泵的特点和使用要求,指出了化学工程真空系统的特殊性。提出了基于场景...
关键词:碳达峰 碳中和 干式真空泵 真空-压缩机 系统设计 场景输入 
基于振动信号的干式真空泵轴承故障诊断被引量:1
《一重技术》2022年第6期45-48,共4页于录 丛培田 张浩 
针对某干式真空泵工作中轴承受冲击载荷产生故障问题,基于振动信号的时域、频域、包络谱分析,对轴承进行故障检测。结果表明:与新轴承相比,主动轴承的振动加速度有效值较大,峰值因子和峭度变化不大,故障诊断为摩擦故障,从动轴承测试结...
关键词:干式真空泵 故障诊断 振动分析 轴承 
环己酮精馏装置真空系统节能改造被引量:1
《河南化工》2022年第7期46-47,共2页代士凯 余跃平 马子峰 李文静 
针对环己酮装置精馏系统存在中压蒸汽和循环冷却水消耗量大的问题,采用干式真空泵替代蒸汽喷射泵的技术改造方案,既保证了高真空度的生产条件,又降低了中压蒸汽的用量,同时也减少了精馏过程中废水的排放量。技术改造的实施具有很好的经...
关键词:环己酮 蒸汽喷射泵 干式真空泵中压蒸汽 节能减排 
结合EMD和LSF的振动信号降噪方法的研究被引量:12
《振动.测试与诊断》2022年第3期606-610,624,共6页赵博 李鹤 
国家自然科学基金资助项目(51675091)。
针对原始振动加速度信号中存在的低频趋势项信号在通过数学积分变换时存在严重失真的问题,提出了采用最小二乘法(least squares fit,简称LSF)和经验模态分解(empirical mode decomposition,简称EMD)相结合的方法,实现过滤原始信号中干...
关键词:经验模态分解 最小二乘法 固有模态函数 干式真空泵 振动信号 
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