陈瑶

作品数：1被引量：17H指数：1
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供职机构：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心更多>>
发文主题：干式真空泵干泵高真空层压工艺半导体设备更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
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高真空直排大气干泵的最新进展被引量：17
《真空科学与技术学报》2008年第1期21-25,共5页刘坤 巴德纯 杨乃恒 常学森 李涛 陈瑶 
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大...
关键词：干式真空泵 高真空 直排大气研究进展 
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